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Modelo: Octafluoropropane
Lugar de origem: CHINA
Incoterm: FOB,CIF,DDP
Introdução ao produto
O octafluoropropano (C3F8) é uma espécie de gás inerte incolor, inodoro e não inflamável. Seu ponto de fusão é 183.0 ℃, o ponto de ebulição é 36,7 ℃, pouco solúvel em água. O octafluoropropano de grau eletrônico é usado em materiais semicondutores e fabricação de dispositivos semicondutores. A mistura de octafluoropropano e oxigênio é usada como material de gravação plasmático, que pode interagir seletivamente com a matriz de metal da wafer de silício.
Especificação de qualidade
项目 Items | 单位 Unit | 指标 Indexs | |
C3F8 | Vol.% | ≥99.999 | ≥99.9995 |
O2+Ar | Vol.ppm | <1 | <0.5 |
N2 | Vol.ppm | <5 | <1 |
CO | Vol.ppm | <0.5 | <0.5 |
CO2 | Vol.ppm | <0.5 | <0.5 |
CF4 | Vol.ppm | <0.5 | <0.5 |
C2F6 | Vol.ppm | <0.5 | <0.5 |
CH4 | Vol.ppm | <1 | <1 |
H2O | Vol.ppm | <1 | <1 |
酸度Acidity (Mesured by HF) | Wt. ppm | <0.1 | <0.1 |
总杂质含量 Total impurity content |
Mol.ppm | ≤10 | ≤5 |
Na indústria de semicondutores, o octafluoropropano é usado como materiais de gravação de plasma; Na medicina, o octafluoropropano pode ser usado como agente de preenchimento e contraste após cirurgia vitreorretiniana. O octafluoropropano também é usado como ingrediente em misturas de refrigeração.
Embalagem e armazenamento
O octafluoropropano é preenchido em cilindros limpos e secos sem tratamento com tratamento especial. Os volumes do cilindro são 4L, 8L, 10L, 12.5L e 40L etc. As especificações de embalagem podem ser personalizadas de acordo com os requisitos dos clientes.
Grupo de Produto : Materiais de processo semicondutores > Materiais de processo semicondutores octafluoropropano
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