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Materiais de processo semicondutores de trifluoreto de nitrogênio

Trifluoreto de nitrogênio do painel de exibição LCD eficiente Trifluoreto

Preço unitário: USD 9999 / Ton

Min.Order Preço unitário
100 Ton USD 9999 / Ton

Introdução ao produto O trifluoreto de nitrogênio (NF 3 ) é uma espécie de gás estável incolor, inodoro e de caracteres, também é uma espécie de oxidante forte. Seu ponto de fusão é 206,8 ℃, o ponto de ebulição é 129,0 ℃, insolúvel em água. O...

China Materiais de processo semicondutores de trifluoreto de nitrogênio Fornecedores

O trifluoreto de nitrogênio na indústria de microeletrônicos é uma espécie de excelente gás de gravação de plasma, que é rachado no íon fluorino ativo durante o processo de gravação plasmática. Para a gravação plasmática de silício e nitreto de silício, o uso de trifluoreto de nitrogênio tem maior taxa de gravação e seletividade do que o uso de tetrafluoreto de carbono ou tetrafluoreto de carbono e oxigênio misto, especialmente no processo de material integrado integrado com a espessura de menos de 1.5 μM, O trifluoreto de nitrogênio possui uma excelente taxa de gravação e seletividade, além disso, não há poluição na superfície do material gravado, também é um bom agente de limpeza.
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