Materiais de gravação para circuitos eletrônicos perfluorobutadieno

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Atributos do produto

Modelo: Perfluorobutadiene

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Lugar de origem: CHINA

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Unidades de venda:: Ton

Introdução ao produto

O perfluorobutadieno (C4F6) é uma espécie de gás incolor, inodoro e insolúvel em água. Seu ponto de fusão é 132,0 ℃, o ponto de ebulição é 5,9 ℃. O perfluorobutadieno é uma espécie de olefinas conjugadas que contém seis átomos de fluorina e duas ligações duplas de carbono-carbono, como uma espécie de excelente gás de gravação, devido à sua razão F/C exclusiva, o perfluorobutadieno possui maior seletividade, precisão e aspecto do que aqueles de O gás tradicional de gravação de fluorocarbono perfluorado, perfluorobutadieno, pode gravar menos de 100 nm de circuito eletrônico ainda mais estreito. Além disso, o C4F6 possui uma maior razão seletiva de nitreto fotorresista e silício do que o de C4F8, que pode melhorar a estabilidade da gravação, a taxa de gravação e a uniformidade e, assim, melhorar a qualidade do produto.

Especificação de qualidade

Items	Unit	Index
C4F6	Vol.%	≥99.99
N2	Vol.ppm	≤10
O2+Ar	Vol.ppm	≤2
H2O	Vol.ppm	≤3
CO2	Vol.ppm	≤10
CO	Vol.ppm	≤3
Isopropanol	Vol.ppm	≤5
Other fluorocarbon	Vol.ppm	≤70
（Measured by HF）	Wt.ppm	≤2

Aplicativo

Usado como gás gravado para a gravação plasmática de produtos semicondutores.

Embalagem e armazenamento

O perfluorobutadieno é preenchido em cilindros de aço com o modelo de B10, tamanho de 14cm × 83cm, volume interno de 10,1L, peso bruto de 14,7 kg, carga útil de 10 kg. As especificações de embalagem podem ser personalizadas de acordo com os requisitos dos clientes.

Grupo de Produto : Materiais de processo semicondutores > Materiais de processo de semicondutores de perfluorobutadieno

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