Hexafluoroetano de alta qualidade de alta qualidade

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Atributos do produto

Modelo: Hexafluoroethane

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Unidades de venda:: Ton

O hexafluoroetano (C2F6), também conhecido como Perfluoroetano, é uma espécie de gás inerte incolor, inodoro e não inflamável. Seu ponto de fusão é 100,6 ℃, o ponto de ebulição é 78,2 ℃, ligeiramente solúvel em água. Devido à sua estabilidade não tóxica, inodoro e alta, o hexafluoroetano é amplamente utilizado no processo de fabricação de semicondutores. O hexafluoroetano, como gravador seco, tem as vantagens de gravação muito pequena, alta taxa de gravação e alta precisão, que podem atender aos requisitos do processo de fabricação de semicondutores para pequena largura de linha.

Especificação de qualidade hexafluoroetano :

Items	单位 Unit	Indexs
C2F6	Vol.%	≥99.999
O2+Ar	Vol.ppm	＜1
N2	Vol.ppm	＜5
CO	Vol.ppm	＜0.5
CO2	Vol.ppm	＜0.5
H2	Vol.ppm	＜0.5
Halohydrocarbon	Vol.ppm	＜5
CH4	Vol.ppm	＜1
H2O	Vol.ppm	＜2
Acidity（Measured by HF）	Wt. ppm	＜0.1
Total impurity content	Mol.ppm	≤10

Aplicativo:

O hexafluoroetano de grau eletrônico é usado principalmente no processo de fabricação de materiais semicondutores e dispositivos semicondutores como agente de gravura e agente de limpeza, além de gás de isolamento e alta resistência dielétrica.

Embalagem e armazenamento:
O hexafluoroetano é preenchido em cilindros limpos e secos com tratamento especial. Os volumes do cilindro são 4L, 8L, 10L, 12.5L e 40L etc. As especificações de embalagem podem ser personalizadas de acordo com os requisitos dos clientes.

Grupo de Produto : Materiais de processo semicondutores > Materiais de processo de semicondutores de hexafluoroetano

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