O hexafluoroetano (C 2 F 6 ), também conhecido como Perfluoroetano, é uma espécie de gás inerte incolor, inodoro e não inflamável. Seu ponto de fusão é 100,6 ℃, o ponto de ebulição é 78,2 ℃, ligeiramente solúvel em água. Devido à sua estabilidade não tóxica, inodoro e alta, o hexafluoroetano é amplamente utilizado no processo de fabricação de semicondutores. O hexafluoroetano, como gravador seco, tem as vantagens de gravação muito pequena, alta taxa de gravação e alta precisão, que podem atender aos requisitos do processo de fabricação de semicondutores para pequena largura de linha.
Especificação de qualidade
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Items
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Unit
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Indexs
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C2F6
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Vol.%
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≥99.999
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O2+Ar
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Vol.ppm
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＜1
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N2
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Vol.ppm
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＜5
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CO
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Vol.ppm
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＜0.5
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CO2
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Vol.ppm
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＜0.5
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H2
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Vol.ppm
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＜0.5
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Halohydrocarbon
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Vol.ppm
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＜5
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CH4
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Vol.ppm
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＜1
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H2O
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Vol.ppm
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＜2
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Acidity（Measured by HF）
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Wt.ppm
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＜0.1
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Total impurity content
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Mol.ppm
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≤10
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Aplicativo
O hexafluoroetano de grau eletrônico é usado principalmente no processo de fabricação de materiais semicondutores e dispositivos semicondutores como agente de gravura e agente de limpeza, além de gás de isolamento e alta resistência dielétrica.
Embalagem e armazenamento
O hexafluoroetano é preenchido em cilindros limpos e secos com tratamento especial. Os volumes do cilindro são 4L, 8L, 10L, 12.5L e 40L etc. As especificações de embalagem podem ser personalizadas de acordo com os requisitos dos clientes.
A Shandong Zhongshan fotoelétrica Materiais Co., Ltd. é uma empresa de alta tecnologia investida e criada pela Shandong Zhongshan Group Co., Ltd., que integra P&D, teste piloto e industrialização. A Zhongshan Fotoelétrica Materiais Co., Ltd. possui uma equipe de pesquisa e desenvolvimento de 200 pessoas, incluindo principalmente professores, pesquisadores, pós -docs, médicos, mestres e estudantes de graduação. A empresa fez uma série de realizações tecnológicas inovadoras após vários anos de desenvolvimento. Mais de 50 patentes foram aplicadas e 30 patentes para invenção foram autorizadas nos últimos 3 anos.
A empresa constrói uma plataforma piloto de P&D de 5.000 m2, incluindo várias instalações de suporte completas e função avançada de dispositivos de teste e piloto, como gás fluorina puro alto, materiais de carbono fluorados funcionais especiais, materiais semicondutores (gás eletrônico/ produtos eletrônicos altos e eletrônicos) Bateria de alta energia específica, eletrólitos e aditivos de bateria de lítio, bateria térmica e materiais relacionados, materiais fotoelétricos, isótopos estáveis e seus materiais derivados, materiais biomédicos fluoretados etc. A empresa pode realizar vários testes inovadores de pesquisa e desenvolvimento e piloto para Áreas relacionadas de novos materiais e equipamentos. A empresa estabeleceu um centro avançado de análise e teste para P&D e produção de todos os projetos.
Ao mesmo tempo, a empresa construiu a primeira linha de produção em larga escala do laboratório de avaliação de desempenho de material fluorocarbono e funcional em todo o mundo, e tornou-se o único fabricante que pode produzir em massa e fornecer fluorógrafo de alta qualidade em casa e no exterior até agora.
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